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傳感器及電子設(shè)備的制作方法

文檔序號:42149427發(fā)布日期:2025-06-13 15:55閱讀:55來源:國知局

本申請涉及傳感器相關(guān),具體涉及一種傳感器及電子設(shè)備。


背景技術(shù):

1、傳感器包括殼體和基板,其中,殼體設(shè)于基板并與之圍合形成一空腔,基板在空腔的部分設(shè)有mems芯片和asic芯片,mems芯片和asic芯片電連接,asic芯片與基板電連接,以實(shí)現(xiàn)三者之間的信號傳輸。

2、當(dāng)傳感器在高溫環(huán)境下使用時,傳感器外部的熱能會向傳感器的內(nèi)部擴(kuò)散,使得傳感器內(nèi)部的溫度升高。由此,不僅會導(dǎo)致傳感器的信號傳輸強(qiáng)度降低,而且還會導(dǎo)致傳感器內(nèi)部設(shè)置的mems芯片和asic芯片的老化速度加快,從而嚴(yán)重影響傳感器的工作穩(wěn)定性及工作壽命,甚至?xí)?dǎo)致傳感器出現(xiàn)元器件失效的問題。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請?zhí)峁┮环N傳感器及電子設(shè)備,能夠解決現(xiàn)有的傳感器在高溫環(huán)境下使用時,會導(dǎo)致傳感器的信號傳輸強(qiáng)度降低,以及導(dǎo)致傳感器內(nèi)部設(shè)置的mems芯片和asic芯片的老化速度加快的問題。

2、為達(dá)上述目的,本申請?zhí)峁┑膫鞲衅?,包括?/p>

3、基板,具有在其厚度方向相對而設(shè)的第一側(cè)和第二側(cè);

4、殼體,設(shè)于所述基板的第一側(cè)并與之圍合形成安裝腔;

5、感測組件,設(shè)于所述安裝腔內(nèi),所述感測組件包括間隔布置于所述基板的第一側(cè)的asic芯片和mems芯片,所述asic芯片與所述基板電連接,并與所述mems芯片電連接;

6、隔熱結(jié)構(gòu),用于阻擋所述傳感器外部的熱能經(jīng)所述殼體或所述基板傳遞至所述安裝腔,所述隔熱結(jié)構(gòu)包括隔熱層,所述隔熱層設(shè)于所述基板內(nèi),且位于所述基板的第一側(cè)和第二側(cè)之間;和/或,所述隔熱結(jié)構(gòu)包括隔熱部,所述隔熱部與所述基板的第一側(cè)連接。

7、在本申請的一些實(shí)施例中,自所述基板的第一側(cè)至所述基板的第二側(cè),所述基板由層疊設(shè)置的多個層結(jié)構(gòu)構(gòu)成;其中,

8、所述多個層結(jié)構(gòu)包括一層所述隔熱層時,該所述隔熱層的厚度t1滿足:40um≤t1≤80um;

9、所述多個層結(jié)構(gòu)包括至少兩層所述隔熱層時,相鄰兩層所述隔熱層間隔設(shè)置,每層所述隔熱層的厚度t2滿足:40um≤t2≤60um。

10、在本申請的一些實(shí)施例中,所述隔熱部包括第一隔熱墊,所述第一隔熱墊設(shè)于所述基板的第一側(cè),且連接于所述asic芯片和所述基板之間;和/或,所述隔熱部包括第二隔熱墊,所述第二隔熱墊設(shè)于所述基板的第一側(cè),且連接于所述mems芯片和所述基板之間。

11、在本申請的一些實(shí)施例中,所述隔熱結(jié)構(gòu)包括均設(shè)于所述基板的第一側(cè)的第一隔熱墊和第二隔熱墊,所述第一隔熱墊的厚度大于所述第二隔熱墊的厚度,且當(dāng)所述第一隔熱墊連接于所述asic芯片和所述基板之間,所述第二隔熱墊連接于所述mems芯片和所述基板之間后,所述mems芯片背對所述基板的一側(cè)與所述基板之間的距離大于所述asic芯片背對所述基板的一側(cè)與所述基板之間的距離。

12、在本申請的一些實(shí)施例中,所述隔熱部包括設(shè)于所述基板的第一側(cè)的第三隔熱墊,所述asic芯片和所述mems芯片均設(shè)于所述第三隔熱墊上。

13、在本申請的一些實(shí)施例中,所述基板上設(shè)有貫穿其的聲孔,所述聲孔與所述mems芯片對應(yīng)設(shè)置,所述第三隔熱墊上設(shè)有與所述聲孔對應(yīng)且連通的過孔,所述第三隔熱墊背對所述基板的一側(cè)設(shè)有防水層,所述防水層的部分區(qū)域覆蓋所述過孔的端部,且具有孔狀結(jié)構(gòu)。

14、在本申請的一些實(shí)施例中,自所述asic芯片至所述mems芯片的方向,所述第三隔熱墊的厚度逐漸增加。

15、在本申請的一些實(shí)施例中,所述隔熱部包括第一隔熱罩,所述第一隔熱罩罩設(shè)于所述asic芯片的外部,并與所述基板的第一側(cè)連接;和/或,所述隔熱結(jié)構(gòu)包括第二隔熱罩,所述第二隔熱罩罩設(shè)于所述mems芯片的外部,并與所述基板的第一側(cè)連接。

16、在本申請的一些實(shí)施例中,所述隔熱部包括均與所述基板的第一側(cè)連接的第一隔熱罩和第二隔熱罩,所述第一隔熱罩罩設(shè)于所述asic芯片的外部,且其上設(shè)有第一通孔,所述第二隔熱罩罩設(shè)于所述mems芯片的外部,且其上設(shè)有第二通孔;

17、其中,所述傳感器還包括:

18、第一導(dǎo)電連接線,穿過所述第一通孔和所述第二通孔,以電連接所述asic芯片與所述mems芯片;

19、第二導(dǎo)電連接線,穿過所述第一通孔,以電連接所述asic芯片與所述基板。

20、在本申請的一些實(shí)施例中,所述隔熱部包括第三隔熱罩,所述第三隔熱罩罩設(shè)于所述asic芯片和所述mems芯片的外部,并與所述基板的第一側(cè)連接,所述第三隔熱罩上設(shè)有多個第三通孔。

21、在本申請的一些實(shí)施例中,所述基板上設(shè)有貫穿所述基板的第一側(cè)和所述基板的第二側(cè)的聲孔,所述聲孔與所述mems芯片對應(yīng)設(shè)置,自所述基板的第二側(cè)至所述基板的第一側(cè),所述聲孔的尺寸逐漸增大。

22、在本申請的一些實(shí)施例中,所述隔熱結(jié)構(gòu)由納米氣凝膠材料制成。

23、在該實(shí)施例中,由于基板內(nèi)設(shè)置有隔熱層和/或基板的第一側(cè)設(shè)有隔熱部,該隔熱層和/或隔熱部能夠阻擋傳感器外部的熱能經(jīng)基板或殼體傳遞至安裝腔。因此,在高溫環(huán)境下使用具有隔熱結(jié)構(gòu)的傳感器時,能夠有效隔絕傳感器外部的熱能傳遞至安裝腔的內(nèi)部,以避免設(shè)于安裝腔內(nèi)的感測組件處于高溫環(huán)境而導(dǎo)致其老化速度加快,甚至元器件失效的問題,從而提高了傳感器的工作穩(wěn)定性及工作壽命。

24、另一方面,本申請還提供了一種電子設(shè)備,電子設(shè)備包括如上任一技術(shù)方案所述的傳感器。

25、由于本申請?zhí)峁┑碾娮釉O(shè)備中的傳感器與上述任一技術(shù)方案所記載的傳感器具有相同的結(jié)構(gòu),因此兩者能夠解決相同的技術(shù)問題,并且達(dá)到相同的技術(shù)效果。



技術(shù)特征:

1.一種傳感器,其特征在于,所述傳感器包括:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于,自所述基板的第一側(cè)至所述基板的第二側(cè),所述基板由層疊設(shè)置的多個層結(jié)構(gòu)構(gòu)成;其中,

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于,所述隔熱部包括第一隔熱墊,所述第一隔熱墊設(shè)于所述基板的第一側(cè),且連接于所述asic芯片和所述基板之間;和/或,所述隔熱部包括第二隔熱墊,所述第二隔熱墊設(shè)于所述基板的第一側(cè),且連接于所述mems芯片和所述基板之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于,所述隔熱結(jié)構(gòu)包括均設(shè)于所述基板的第一側(cè)的第一隔熱墊和第二隔熱墊,所述第一隔熱墊的厚度大于所述第二隔熱墊的厚度,且當(dāng)所述第一隔熱墊連接于所述asic芯片和所述基板之間,所述第二隔熱墊連接于所述mems芯片和所述基板之間后,所述mems芯片背對所述基板的一側(cè)與所述基板之間的距離大于所述asic芯片背對所述基板的一側(cè)與所述基板之間的距離。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于,所述隔熱部包括設(shè)于所述基板的第一側(cè)的第三隔熱墊,所述asic芯片和所述mems芯片均設(shè)于所述第三隔熱墊上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳感器,其特征在于,所述基板上設(shè)有貫穿其的聲孔,所述聲孔與所述mems芯片對應(yīng)設(shè)置,所述第三隔熱墊上設(shè)有與所述聲孔對應(yīng)且連通的過孔,所述第三隔熱墊背對所述基板的一側(cè)設(shè)有防水層,所述防水層的部分區(qū)域覆蓋所述過孔的端部,且具有孔狀結(jié)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的傳感器,其特征在于,自所述asic芯片至所述mems芯片的方向,所述第三隔熱墊的厚度逐漸增加。

8.根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項所述的傳感器,其特征在于,所述隔熱部包括第一隔熱罩,所述第一隔熱罩罩設(shè)于所述asic芯片的外部,并與所述基板的第一側(cè)連接;和/或,所述隔熱結(jié)構(gòu)包括第二隔熱罩,所述第二隔熱罩罩設(shè)于所述mems芯片的外部,并與所述基板的第一側(cè)連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項所述的傳感器,其特征在于,所述隔熱部包括均與所述基板的第一側(cè)連接的第一隔熱罩和第二隔熱罩,所述第一隔熱罩罩設(shè)于所述asic芯片的外部,且其上設(shè)有第一通孔,所述第二隔熱罩罩設(shè)于所述mems芯片的外部,且其上設(shè)有第二通孔;

10.根據(jù)權(quán)利要求1~7中任一項所述的傳感器,其特征在于,所述隔熱部包括第三隔熱罩,所述第三隔熱罩罩設(shè)于所述asic芯片和所述mems芯片的外部,并與所述基板的第一側(cè)連接,所述第三隔熱罩上設(shè)有多個第三通孔。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于,所述基板上設(shè)有貫穿所述基板的第一側(cè)和所述基板的第二側(cè)的聲孔,所述聲孔與所述mems芯片對應(yīng)設(shè)置,自所述基板的第二側(cè)至所述基板的第一側(cè),所述聲孔的尺寸逐漸增大。

12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傳感器,其特征在于,所述隔熱結(jié)構(gòu)由納米氣凝膠材料制成。

13.一種電子設(shè)備,其特征在于,包括:


技術(shù)總結(jié)
本申請公開了一種傳感器及電子設(shè)備,涉及傳感器相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域,用于解決現(xiàn)有的傳感器在高溫環(huán)境下使用時會導(dǎo)致傳感器內(nèi)的MEMS芯片和ASIC芯片的老化速度加快的問題。本申請?zhí)峁┑膫鞲衅靼ɑ澹瑲んw設(shè)于基板的第一側(cè)并與之圍合形成安裝腔;感測組件設(shè)于安裝腔內(nèi),感測組件包括間隔布置于基板的第一側(cè)的ASIC芯片和MEMS芯片,ASIC芯片與基板電連接,并與MEMS芯片電連接;隔熱結(jié)構(gòu)用于阻擋傳感器外部的熱能經(jīng)殼體或基板傳遞至安裝腔,隔熱結(jié)構(gòu)包括隔熱層,隔熱層設(shè)于基板內(nèi),且位于基板的第一側(cè)和第二側(cè)之間;和/或,隔熱結(jié)構(gòu)包括隔熱部,隔熱部與所述基板的第一側(cè)連接。本申請用于提高傳感器的工作穩(wěn)定性及工作壽命。

技術(shù)研發(fā)人員:姜成穎
受保護(hù)的技術(shù)使用者:蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240822
技術(shù)公布日:2025/6/12
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