本發(fā)明涉及真空泵，尤其涉及一種高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵。
背景技術(shù)：
1、隨著半導(dǎo)體、光伏、制藥、化工、真空鍍膜等行業(yè)對清潔、高效、穩(wěn)定真空環(huán)境的需求日益增長，傳統(tǒng)的油封泵、液環(huán)泵等真空技術(shù)已難以滿足這些領(lǐng)域的高純度、低污染、低能耗的要求。干式螺桿真空泵因其無油污染、耐腐蝕、抽速范圍廣等優(yōu)點(diǎn)，已成為工業(yè)真空領(lǐng)域的重要設(shè)備之一。然而，傳統(tǒng)的螺桿真空泵通常采用低轉(zhuǎn)速運(yùn)行，導(dǎo)致體積較大、重量較重、效率較低，并且在某些高精度、高真空需求的場景下表現(xiàn)受限。因此，研究和開發(fā)高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，以提高抽速、降低能耗、優(yōu)化結(jié)構(gòu)布局，已成為行業(yè)發(fā)展的重要方向。
2、傳統(tǒng)螺桿真空泵的轉(zhuǎn)速普遍較低(通常在5000rpm以下)，其次，低轉(zhuǎn)速設(shè)計雖然能夠減少機(jī)械磨損，但也導(dǎo)致抽速較低，影響整體真空系統(tǒng)的效率，特別是在高真空應(yīng)用中，往往需要多級串聯(lián)才能達(dá)到所需的真空度，增加了設(shè)備復(fù)雜性和運(yùn)行成本，傳統(tǒng)螺桿真空泵的軸承在高轉(zhuǎn)速下發(fā)熱量大、磨損嚴(yán)重等缺陷，為此亟需提出一種高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、(一)要解決的技術(shù)問題
2、鑒于現(xiàn)有技術(shù)的上述缺點(diǎn)、不足，本發(fā)明提供一種高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其解決了傳統(tǒng)螺桿真空泵的軸承在高轉(zhuǎn)速下發(fā)熱量大、磨損嚴(yán)重等缺陷技術(shù)問題。
3、(二)技術(shù)方案
4、為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的主要技術(shù)方案包括：
5、本發(fā)明實(shí)施例提供一種高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵。
6、本發(fā)明實(shí)施例提出的一種高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，包括：
7、泵腔；
8、兩個螺桿轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)動安裝于泵腔內(nèi)，兩個螺桿轉(zhuǎn)子相互嚙合連接；
9、保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)，設(shè)置于螺桿轉(zhuǎn)子的兩端，用于使螺桿轉(zhuǎn)子在轉(zhuǎn)動的情況下，螺桿轉(zhuǎn)子的兩端呈懸浮轉(zhuǎn)動狀態(tài)。
10、可選地，高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵還包括：
11、同步電機(jī)，設(shè)置于泵腔進(jìn)氣端的一側(cè)，且與螺桿轉(zhuǎn)子的一端連接。
12、可選地，高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵還包括：
13、同步齒輪，設(shè)置于螺桿轉(zhuǎn)子上，兩個同步齒輪相互嚙合連接。
14、可選地，保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)包括：
15、軸承外殼；
16、電磁軸承；設(shè)置于軸承外殼內(nèi)，螺桿轉(zhuǎn)子與電磁軸承同軸設(shè)置。
17、可選地，保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)還包括：
18、保護(hù)軸承，與電磁軸承同軸設(shè)置于軸承外殼內(nèi)。
19、可選地，電磁軸承包括：
20、軸向電磁軸承，設(shè)置于軸承外殼內(nèi)；
21、徑向電磁軸承，設(shè)置于軸承外殼內(nèi)；
22、其中，徑向電磁軸承和軸向電磁軸承同軸套設(shè)于螺桿轉(zhuǎn)子外。
23、可選地，保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)還包括：
24、軸向位移傳感器，設(shè)置于軸承外殼內(nèi)，用于監(jiān)測軸向電磁軸承位于軸承外殼內(nèi)的位置；
25、徑向位移傳感器，設(shè)置于軸承外殼內(nèi)，用于監(jiān)測徑向電磁軸承位于軸承外殼內(nèi)的位置。
26、可選地，同步電機(jī)包括：
27、轉(zhuǎn)子軸，與螺桿轉(zhuǎn)子連接；
28、定子套筒，轉(zhuǎn)動軸轉(zhuǎn)動安裝于定子套筒內(nèi)。
29、可選地，定子套筒為水冷定子套筒。
30、可選地，高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵還包括：
31、鎖緊螺母，設(shè)置于螺桿轉(zhuǎn)子上，用于使同步齒輪與螺桿轉(zhuǎn)子相對固定。
32、(三)有益效果
33、本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵包括泵腔、螺桿轉(zhuǎn)子和保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)，其中，保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)設(shè)置于螺桿轉(zhuǎn)子的兩端，主要功能是在螺桿轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動的情況下，使螺桿轉(zhuǎn)子的兩端呈懸浮轉(zhuǎn)動狀態(tài)，螺桿轉(zhuǎn)子的運(yùn)轉(zhuǎn)不再依賴傳統(tǒng)的軸承直接支撐，傳統(tǒng)軸承在高轉(zhuǎn)速下，由于接觸摩擦，會產(chǎn)生大量的熱量，同時加速磨損，影響螺桿轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速，更影響真空泵的性能和壽命，而保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)讓螺桿轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)懸浮轉(zhuǎn)動，減少了機(jī)械接觸帶來的摩擦，進(jìn)而大大降低了發(fā)熱量和磨損程度，可顯著提高螺桿轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)速，同時有助于提高真空泵在高轉(zhuǎn)速下的穩(wěn)定性和耐久性，延長設(shè)備的使用壽命，提升整體工作效率，通過泵腔、螺桿轉(zhuǎn)子和保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)各部件的緊密配合，本高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵能夠有效克服傳統(tǒng)螺桿真空泵在高轉(zhuǎn)速運(yùn)行時軸承所出現(xiàn)的發(fā)熱量大、磨損嚴(yán)重等問題，在性能上得到顯著提升，滿足更高的工業(yè)生產(chǎn)需求，根據(jù)轉(zhuǎn)子動力學(xué)計算結(jié)果，當(dāng)兩個螺桿轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達(dá)到10000rpm時，此結(jié)構(gòu)下的臥式螺桿真空泵仍然不會達(dá)到兩個螺桿轉(zhuǎn)子的一階臨界轉(zhuǎn)速及共振頻率，可以實(shí)現(xiàn)在高轉(zhuǎn)速下穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)，從而提升臥式螺桿真空泵的抽氣性能，拓寬我是螺桿真空泵的應(yīng)用工藝環(huán)境，使得臥式螺桿真空泵可以滿足更多的真空環(huán)境獲得工藝的使用需求。
1.一種高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于，包括：
2.如權(quán)利要求1所述的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于，還包括：
3.如權(quán)利要求1所述的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于，還包括：
4.如權(quán)利要求1所述的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于，所述保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)包括：
5.如權(quán)利要求4所述的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于，所述保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)還包括：
6.如權(quán)利要求4所述的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于，所述電磁軸承包括：
7.如權(quán)利要求6所述的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于，所述保護(hù)支撐機(jī)構(gòu)還包括：
8.如權(quán)利要求2所述的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于，所述同步電機(jī)包括：
9.如權(quán)利要求8所述的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于：
10.如權(quán)利要求3所述的高轉(zhuǎn)速臥式螺桿真空泵，其特征在于，還包括：