aaa视频网站,国产最新进精品视频,国产主播一区二区,999热精品视频,а√天堂资源8在线官网在线,国产免费不卡av,麻豆国产视频

用于增強(qiáng)型近眼顯示表面浮雕光柵光導(dǎo)的板狀波導(dǎo)層的制作方法

文檔序號(hào):42170323發(fā)布日期:2025-06-13 16:27閱讀:22來源:國(guó)知局

本公開的實(shí)施方式大體而言涉及擴(kuò)增實(shí)境波導(dǎo)組合件。


背景技術(shù):

1、虛擬現(xiàn)實(shí)通常被認(rèn)為是計(jì)算機(jī)產(chǎn)生的仿真環(huán)境,其中用戶具有表觀物理存在。虛擬現(xiàn)實(shí)體驗(yàn)可以以3d形式產(chǎn)生,并使用頭戴式顯示器(head-mounted?display,hmd),例如眼鏡或其他可穿戴顯示設(shè)備觀看,此等其他可穿戴顯示設(shè)備具有近眼顯示面板作為透鏡來顯示替代實(shí)際環(huán)境的虛擬現(xiàn)實(shí)環(huán)境。

2、然而,擴(kuò)增實(shí)境使得能夠?qū)崿F(xiàn)如此的體驗(yàn),在該體驗(yàn)中用戶仍然可以通過眼鏡或其他hmd設(shè)備的顯示透鏡看到周圍的環(huán)境,亦可以看到被產(chǎn)生以顯示并作為環(huán)境的一部分出現(xiàn)的虛擬對(duì)象的圖像。擴(kuò)增實(shí)境可包括任何類型的輸入,諸如音頻及觸覺輸入,以及加強(qiáng)或擴(kuò)增用戶體驗(yàn)的環(huán)境的虛擬圖像、圖形及視頻。作為一種新興技術(shù),擴(kuò)增實(shí)境面臨許多挑戰(zhàn)及設(shè)計(jì)約束。

3、一種此類挑戰(zhàn)是顯示重迭在周圍環(huán)境上的虛擬圖像。波導(dǎo)組合件用于幫助重迭圖像。產(chǎn)生的光被輸入耦合到波導(dǎo)組合件中,通過擴(kuò)增波導(dǎo)組合件傳播,從擴(kuò)增波導(dǎo)組合件輸出耦合,并重迭在周圍環(huán)境上。使用表面浮雕光柵將光耦合進(jìn)和耦合出擴(kuò)增波導(dǎo)組合件。因此,本領(lǐng)域需要的是波導(dǎo)組合件。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、在一個(gè)實(shí)施方式中,提供了一種波導(dǎo)。該波導(dǎo)包括:波導(dǎo)基板,該波導(dǎo)基板具有基板折射率(ri)nsub;板狀波導(dǎo)層,該板狀波導(dǎo)層設(shè)置在該波導(dǎo)基板上方,該板狀波導(dǎo)層具有板狀ri?nswg和板狀深度dswg,該板狀深度dswg從該板狀波導(dǎo)層的下表面至上表面;至少一個(gè)光柵,該至少一個(gè)光柵由多個(gè)光柵結(jié)構(gòu)限定,該等光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置在該板狀波導(dǎo)層中、上或上方;以及頂板,該頂板在該等光柵結(jié)構(gòu)之間和上方,該頂板具有頂板rin頂板和與該板狀波導(dǎo)層的界面。該板狀ri?nswg大于該基板ri?nsub且該板狀ri?nswg大于該頂板rin頂板。

2、在一個(gè)實(shí)施方式中,提供了一種波導(dǎo)。該波導(dǎo)包括:波導(dǎo)基板,該波導(dǎo)基板具有基板折射率(ri)nsub;板狀波導(dǎo)層,該板狀波導(dǎo)層設(shè)置在該波導(dǎo)基板上方,該板狀波導(dǎo)層具有板狀ri?nswg和板狀深度dswg,該板狀深度dswg從該板狀波導(dǎo)層的下表面至上表面;至少一個(gè)光柵,該至少一個(gè)光柵由多個(gè)光柵結(jié)構(gòu)限定,該等光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置在該板狀波導(dǎo)層中、上或上方;頂板,該頂板在該等光柵結(jié)構(gòu)之間和上方,該頂板具有頂板rin頂板和與該板狀波導(dǎo)層的界面。該板狀ri?nswg大于該基板ri?nsub且該板狀ri?nswg大于該頂板rin頂板,并且該板狀深度dswg為:當(dāng)在620nm處的該板狀ri?nswg為2.1時(shí),為75nm至110nm;當(dāng)在620nm處的該板狀rinswg為2.2時(shí),為55nm至100nm;當(dāng)在620nm處的該板狀ri?nswg為2.3時(shí),為35nm至85nm;當(dāng)在620nm處的該板狀ri?nswg為2.4時(shí),為30nm至70nm;當(dāng)在620nm處的該板狀ri?nswg為2.5時(shí),為25nm至60nm;并且當(dāng)在620nm處的該板狀ri?nswg為2.6時(shí),為15nm至50nm。

3、在一個(gè)實(shí)施方式中,提供了一種波導(dǎo)。該波導(dǎo)包括:波導(dǎo)基板,該波導(dǎo)基板具有基板折射率(ri)nsub;板狀波導(dǎo)層,該板狀波導(dǎo)層設(shè)置在該波導(dǎo)基板上方,該板狀波導(dǎo)層具有板狀ri?nswg和板狀深度dswg;折疊光柵,該折疊光柵由設(shè)置在該板狀波導(dǎo)層中的光柵結(jié)構(gòu)限定,該板狀深度dswg為在該等光柵結(jié)構(gòu)之間從該板狀波導(dǎo)層的下表面至上表面;以及頂板,在該等光柵結(jié)構(gòu)之間和上方,該頂板具有頂板rin頂板和與該板狀波導(dǎo)層的界面,其中該板狀ri?nswg大于該基板ri?nsub且該板狀ri?nswg大于該頂板rin頂板。



技術(shù)特征:

1.一種波導(dǎo),所述波導(dǎo)包括:

2.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述板狀波導(dǎo)層設(shè)置在所述波導(dǎo)基板上。

3.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述光柵結(jié)構(gòu)包含與所述板狀波導(dǎo)層的板狀波導(dǎo)不同的光柵材料。

4.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述光柵是輸入耦合器、折疊光柵、或輸出耦合器。

5.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述板狀深度dswg是在設(shè)置于所述板狀波導(dǎo)層中的光柵結(jié)構(gòu)之間從所述板狀波導(dǎo)層的所述下表面至所述上表面。

6.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述波導(dǎo)基板包含玻璃、硅(si)、二氧化硅(sio2)、鍺(ge)、硅鍺(sige)、磷化銦(inp)、砷化鎵(gaas)、氮化鎵(gan)、熔融硅石、石英、藍(lán)寶石(al2o3)、碳化硅(sic)、鈮酸鋰(linbo3)、氧化銦錫(ito)或其組合。

7.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述板狀波導(dǎo)層包含以下中的一或多者:含碳氧化硅(sioc)、二氧化鈦(tio2)、二氧化硅(sio2),氧化釩(iv)(vox)、氧化鋁(al2o3)、鋁摻雜的氧化鋅(azo)、氧化銦錫(ito)、二氧化錫(sno2)、氧化鋅(zno)、五氧化二鉭(ta2o5)、氮化硅(si3n4)、二氧化鋯(zro2)、氧化鈮(nb2o5)、錫酸鎘(cd2sno4)、氧化鈦硅(tisiox)或碳氮化硅(sicn)的材料。

8.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中在620nm處的所述基板ri?nsub為1.8至2.10。

9.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中在620nm處的所述基板ri?nsub大于2.77。

10.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中在620nm處的所述板狀ri?nswg為1.8至2.6。

11.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述板狀深度dswg:

12.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述波導(dǎo)的藍(lán)色通道光的繞射效率與紅色通道光的繞射效率的繞射效率比為1.1:1.0。

13.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述光柵結(jié)構(gòu)是閃耀光柵結(jié)構(gòu)。

14.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述光柵結(jié)構(gòu)具有彼此平行且相對(duì)于所述波導(dǎo)基板成角度的側(cè)壁。

15.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述光柵結(jié)構(gòu)具有二維周期性。

16.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述頂板是涂層。

17.如權(quán)利要求1所述的波導(dǎo),其中所述波導(dǎo)具有2nswgk0cos(θ)d+φsub+φgrating=2πm的諧振條件

18.如權(quán)利要求17所述的波導(dǎo),其中諧振峰之間的板狀深度dswg的變化δd是通過求解下式確定的:

19.一種波導(dǎo),所述波導(dǎo)包括:

20.一種波導(dǎo),所述波導(dǎo)包括:


技術(shù)總結(jié)
本公開的實(shí)施方式大體而言涉及擴(kuò)增實(shí)境波導(dǎo)組合件。所述波導(dǎo)包括:波導(dǎo)基板,所述波導(dǎo)基板具有基板折射率(RI)n<subgt;sub</subgt;;板狀波導(dǎo)層,所述板狀波導(dǎo)層設(shè)置在所述波導(dǎo)基板上方,所述板狀波導(dǎo)層具有板狀RI?n<subgt;swg</subgt;和板狀深度d<subgt;swg</subgt;,所述板狀深度d<subgt;swg</subgt;從所述板狀波導(dǎo)層的下表面至上表面;至少一個(gè)光柵,所述至少一個(gè)光柵由多個(gè)光柵結(jié)構(gòu)限定,所述光柵結(jié)構(gòu)設(shè)置在所述板狀波導(dǎo)層中、上或上方;以及頂板,所述頂板在所述光柵結(jié)構(gòu)之間和上方,所述頂板具有頂板RI?n<subgt;頂板</subgt;和與所述板狀波導(dǎo)層的界面。所述板狀RI?n<subgt;swg</subgt;大于所述基板RI?n<subgt;sub</subgt;且所述板狀RI?n<subgt;swg</subgt;大于所述頂板RI?n<subgt;頂板</subgt;。

技術(shù)研發(fā)人員:凱文·梅塞爾,大衛(wèi)·亞歷山大·塞爾,薩馬爾思·巴爾加瓦
受保護(hù)的技術(shù)使用者:應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/6/12
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評(píng)論。精彩留言會(huì)獲得點(diǎn)贊!
1