本發(fā)明屬于基板激光切割,尤其涉及一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具。
背景技術(shù):
1、半導(dǎo)體基板是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,它為半導(dǎo)體器件的制造提供了物理支撐和電氣連接的基礎(chǔ),在電子設(shè)備的運(yùn)行中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
2、在對(duì)半導(dǎo)體基板進(jìn)行生產(chǎn)過程中,當(dāng)生產(chǎn)出的半導(dǎo)體基板需要適用在新能源汽車內(nèi)時(shí),由于空間和重量的限制,需要使用特殊形狀的半導(dǎo)體基板來滿足緊湊設(shè)計(jì)的要求,使半導(dǎo)體基板能夠安裝在新能源汽車內(nèi),且在半導(dǎo)體基板生產(chǎn)出后,需要對(duì)半導(dǎo)體基板進(jìn)行激光切割,以便將半導(dǎo)體基板安裝在新能源汽車內(nèi),而在需要對(duì)由三個(gè)側(cè)邊所組成的半導(dǎo)體基板進(jìn)行激光切割時(shí),由于每批次所生產(chǎn)半導(dǎo)體基板三個(gè)側(cè)邊的傾斜角度并不相同,工作人員還需要根據(jù)三個(gè)側(cè)邊的傾斜角度來更換對(duì)應(yīng)的固定件,之后利用更換后的固定件對(duì)三個(gè)側(cè)邊所組成的半導(dǎo)體基板進(jìn)行固定,之后才能利用激光切割槍對(duì)三個(gè)側(cè)邊所組成的半導(dǎo)體基板進(jìn)行激光切割,效率較低,極大程度的降低了對(duì)半導(dǎo)體基板進(jìn)行激光切割時(shí)的切割效率以及可靠性。
3、為此,我們提出一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具解決上述問題。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、為了實(shí)現(xiàn)上述目的,本發(fā)明采用了如下技術(shù)方案:
2、一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具,包括固定殼,所述固定殼的一端側(cè)壁固定連接有第一電機(jī),所述固定殼的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定框,所述第一電機(jī)的輸出端貫穿固定殼的側(cè)壁與固定框的側(cè)壁固定連接,所述固定框的兩端內(nèi)壁對(duì)稱開設(shè)有兩個(gè)第一凹槽,所述第一凹槽的內(nèi)壁固定連接有第一電動(dòng)滑軌,所述第一電動(dòng)滑軌的一端側(cè)壁滑動(dòng)連接有三個(gè)第一滑板,所述第一滑板的側(cè)壁均固定連接有固定板,所述固定板的內(nèi)壁固定連接有第二電動(dòng)滑軌,所述第二電動(dòng)滑軌的側(cè)壁滑動(dòng)連接有第二滑板,所述第二滑板的一端側(cè)壁固定連接有對(duì)半導(dǎo)體基板側(cè)壁與安裝槽進(jìn)行固定的基板固定組件,所述固定殼的底端內(nèi)壁開設(shè)有激光切割組件。
3、優(yōu)選地,所述基板固定組件包括其中一個(gè)第二滑板一端側(cè)壁固定連接的第一電動(dòng)伸縮桿,所述第一電動(dòng)伸縮桿的伸縮端固定連接有連接板,所述連接板的上下兩端內(nèi)壁對(duì)稱固定連接有兩個(gè)第二電動(dòng)伸縮桿,所述第二電動(dòng)伸縮桿的伸縮端均固定連接有第一夾板,其中一個(gè)所述第二滑板的兩端側(cè)壁均固定連接有側(cè)板,所述側(cè)板的一端側(cè)壁均固定連接有第九電動(dòng)伸縮桿,所述第九電動(dòng)伸縮桿的伸縮端均固定連接有第一u板,所述第一u板的上下兩端內(nèi)壁均固定連接有第三電動(dòng)伸縮桿。
4、優(yōu)選地,所述第三電動(dòng)伸縮桿的伸縮端均固定連接有第二u板,所述第二u板的內(nèi)壁對(duì)稱轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)第二圓桿,所述第二u板的一端側(cè)壁對(duì)稱固定連接有兩個(gè)第二電機(jī),所述第二電機(jī)的輸出端貫穿第二u板的側(cè)壁與對(duì)應(yīng)第二圓桿的一端固定連接,所述第二圓桿的桿壁均固定連接有第四電動(dòng)伸縮桿,所述第四電動(dòng)伸縮桿的伸縮端固定連接有第二夾板。
5、優(yōu)選地,另外兩個(gè)所述第二滑板的一端側(cè)壁均固定連接有第三電機(jī),所述第三電機(jī)的輸出端固定連接有第五電動(dòng)伸縮桿,所述第五電動(dòng)伸縮桿的伸縮端均固定連接有第三u板,所述第三u板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第三圓桿,所述第三u板的側(cè)壁固定連接有第四電機(jī),所述第四電機(jī)的輸出端貫穿第三u板的側(cè)壁與第三圓桿的一端固定連接,所述第三圓桿的桿壁固定連接有第四u板,所述第四u板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第四圓桿,所述第四u板的側(cè)壁固定連接有第五電機(jī)。
6、優(yōu)選地,所述第五電機(jī)的輸出端貫穿第四u板的側(cè)壁與第四圓桿的一端固定連接,所述第四圓桿的桿壁固定連接有固定塊,所述固定塊的兩端內(nèi)壁均固定連接有第六電動(dòng)伸縮桿,所述第六電動(dòng)伸縮桿的伸縮端均固定連接有第三夾板。
7、優(yōu)選地,所述固定塊的內(nèi)壁固定連接有連接框,所述連接框的內(nèi)壁對(duì)稱轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)桿,所述連接框的頂端側(cè)壁對(duì)稱固定連接有兩個(gè)第六電機(jī),所述第六電機(jī)的輸出端貫穿連接框的側(cè)壁與對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)桿的一端固定連接,所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿的桿壁均固定連接有第七電動(dòng)伸縮桿,所述第七電動(dòng)伸縮桿的伸縮端均固定連接有第四夾板。
8、優(yōu)選地,所述激光切割組件包括固定殼底端內(nèi)壁開設(shè)的第二凹槽,所述第二凹槽的內(nèi)壁固定連接有第三電動(dòng)滑軌,所述第三電動(dòng)滑軌的頂端側(cè)壁滑動(dòng)連接有第三滑板,所述第三滑板的頂端側(cè)壁固定連接有連接塊,所述連接塊的內(nèi)壁固定連接有第四電動(dòng)滑軌,所述第四電動(dòng)滑軌的頂端側(cè)壁滑動(dòng)連接有第四滑板,所述第四滑板的頂端側(cè)壁固定連接有第八電動(dòng)伸縮桿,所述第八電動(dòng)伸縮桿的伸縮端固定連接有第五u板。
9、優(yōu)選地,所述第五u板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第五圓桿,所述第五u板的側(cè)壁固定連接有第七電機(jī),所述第七電機(jī)的輸出端貫穿第五u板的側(cè)壁與第五圓桿的一端固定連接,所述第五圓桿的桿壁固定連接有第六u板,所述第六u板的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第六圓桿,所述第六u板的內(nèi)壁固定連接有第八電機(jī),所述第八電機(jī)的輸出端貫穿第六u板的側(cè)壁與第六圓桿的一端固定連接,所述第六圓桿的桿壁固定連接有激光切割槍。
10、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果為:
11、通過設(shè)置的基板固定組件與激光切割組件能夠在需要對(duì)由三個(gè)側(cè)邊組成的半導(dǎo)體基板進(jìn)行激光切割時(shí),根據(jù)由三個(gè)側(cè)邊組成的半導(dǎo)體基板側(cè)邊的角度調(diào)節(jié)第三夾板的傾斜角度,從而對(duì)由三個(gè)側(cè)邊組成的半導(dǎo)體基板其中兩個(gè)側(cè)邊進(jìn)行固定,同時(shí)能夠根據(jù)半導(dǎo)體基板側(cè)邊一側(cè)開設(shè)安裝槽內(nèi)壁的傾斜角度調(diào)節(jié)第四夾板的傾斜角度,便于利用第四夾板對(duì)半導(dǎo)體基板一側(cè)開設(shè)安裝槽的內(nèi)壁進(jìn)行固定,還能夠根據(jù)半導(dǎo)體基板側(cè)邊上方開設(shè)安裝槽內(nèi)壁的傾斜角度調(diào)節(jié)第二夾板的傾斜角度,便于利用第二夾板對(duì)側(cè)邊朝上開設(shè)安裝槽的內(nèi)壁進(jìn)行固定,避免工作人員還需要根據(jù)三個(gè)側(cè)邊的傾斜角度來更換對(duì)應(yīng)的固定件,還能夠在激光切割槍對(duì)由三個(gè)側(cè)邊組成的半導(dǎo)體基板進(jìn)行切割時(shí),使激光切割槍的切割端與由三個(gè)側(cè)邊組成的半導(dǎo)體基板側(cè)壁相垂直,便于對(duì)由三個(gè)側(cè)邊組成的半導(dǎo)體基板進(jìn)行激光切割,極大程度的提高了該裝置對(duì)半導(dǎo)體基板進(jìn)行激光切割時(shí)的切割效率以及可靠性。
1.一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具,包括固定殼(1),其特征在于,所述固定殼(1)的一端側(cè)壁固定連接有第一電機(jī)(2),所述固定殼(1)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有固定框(3),所述第一電機(jī)(2)的輸出端貫穿固定殼(1)的側(cè)壁與固定框(3)的側(cè)壁固定連接,所述固定框(3)的兩端內(nèi)壁對(duì)稱開設(shè)有兩個(gè)第一凹槽(4),所述第一凹槽(4)的內(nèi)壁固定連接有第一電動(dòng)滑軌(5),所述第一電動(dòng)滑軌(5)的一端側(cè)壁滑動(dòng)連接有三個(gè)第一滑板(6),所述第一滑板(6)的側(cè)壁均固定連接有固定板(7),所述固定板(7)的內(nèi)壁固定連接有第二電動(dòng)滑軌(8),所述第二電動(dòng)滑軌(8)的側(cè)壁滑動(dòng)連接有第二滑板(9),所述第二滑板(9)的一端側(cè)壁固定連接有對(duì)半導(dǎo)體基板側(cè)壁與安裝槽進(jìn)行固定的基板固定組件(10),所述固定殼(1)的底端內(nèi)壁開設(shè)有激光切割組件(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具,其特征在于,所述基板固定組件(10)包括其中一個(gè)第二滑板(9)一端側(cè)壁固定連接的第一電動(dòng)伸縮桿(101),所述第一電動(dòng)伸縮桿(101)的伸縮端固定連接有連接板(102),所述連接板(102)的上下兩端內(nèi)壁對(duì)稱固定連接有兩個(gè)第二電動(dòng)伸縮桿(103),所述第二電動(dòng)伸縮桿(103)的伸縮端均固定連接有第一夾板(104),其中一個(gè)所述第二滑板(9)的兩端側(cè)壁均固定連接有側(cè)板(105),所述側(cè)板(105)的一端側(cè)壁均固定連接有第九電動(dòng)伸縮桿(12),所述第九電動(dòng)伸縮桿(12)的伸縮端均固定連接有第一u板(106),所述第一u板(106)的上下兩端內(nèi)壁均固定連接有第三電動(dòng)伸縮桿(107)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具,其特征在于,所述第三電動(dòng)伸縮桿(107)的伸縮端均固定連接有第二u板(108),所述第二u板(108)的內(nèi)壁對(duì)稱轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)第二圓桿(109),所述第二u板(108)的一端側(cè)壁對(duì)稱固定連接有兩個(gè)第二電機(jī)(1010),所述第二電機(jī)(1010)的輸出端貫穿第二u板(108)的側(cè)壁與對(duì)應(yīng)第二圓桿(109)的一端固定連接,所述第二圓桿(109)的桿壁均固定連接有第四電動(dòng)伸縮桿(1011),所述第四電動(dòng)伸縮桿(1011)的伸縮端固定連接有第二夾板(1012)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具,其特征在于,另外兩個(gè)所述第二滑板(9)的一端側(cè)壁均固定連接有第三電機(jī)(1013),所述第三電機(jī)(1013)的輸出端固定連接有第五電動(dòng)伸縮桿(1014),所述第五電動(dòng)伸縮桿(1014)的伸縮端均固定連接有第三u板(1015),所述第三u板(1015)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第三圓桿(1016),所述第三u板(1015)的側(cè)壁固定連接有第四電機(jī)(1017),所述第四電機(jī)(1017)的輸出端貫穿第三u板(1015)的側(cè)壁與第三圓桿(1016)的一端固定連接,所述第三圓桿(1016)的桿壁固定連接有第四u板(1018),所述第四u板(1018)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第四圓桿(1019),所述第四u板(1018)的側(cè)壁固定連接有第五電機(jī)(1020)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具,其特征在于,所述第五電機(jī)(1020)的輸出端貫穿第四u板(1018)的側(cè)壁與第四圓桿(1019)的一端固定連接,所述第四圓桿(1019)的桿壁固定連接有固定塊(1021),所述固定塊(1021)的兩端內(nèi)壁均固定連接有第六電動(dòng)伸縮桿(1022),所述第六電動(dòng)伸縮桿(1022)的伸縮端均固定連接有第三夾板(1023)。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具,其特征在于,所述固定塊(1021)的內(nèi)壁固定連接有連接框(1024),所述連接框(1024)的內(nèi)壁對(duì)稱轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)桿(1025),所述連接框(1024)的頂端側(cè)壁對(duì)稱固定連接有兩個(gè)第六電機(jī)(1026),所述第六電機(jī)(1026)的輸出端貫穿連接框(1024)的側(cè)壁與對(duì)應(yīng)轉(zhuǎn)動(dòng)桿(1025)的一端固定連接,所述轉(zhuǎn)動(dòng)桿(1025)的桿壁均固定連接有第七電動(dòng)伸縮桿(1027),所述第七電動(dòng)伸縮桿(1027)的伸縮端均固定連接有第四夾板(1028)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具,其特征在于,所述激光切割組件(11)包括固定殼(1)底端內(nèi)壁開設(shè)的第二凹槽(111),所述第二凹槽(111)的內(nèi)壁固定連接有第三電動(dòng)滑軌(112),所述第三電動(dòng)滑軌(112)的頂端側(cè)壁滑動(dòng)連接有第三滑板(113),所述第三滑板(113)的頂端側(cè)壁固定連接有連接塊(114),所述連接塊(114)的內(nèi)壁固定連接有第四電動(dòng)滑軌(115),所述第四電動(dòng)滑軌(115)的頂端側(cè)壁滑動(dòng)連接有第四滑板(116),所述第四滑板(116)的頂端側(cè)壁固定連接有第八電動(dòng)伸縮桿(117),所述第八電動(dòng)伸縮桿(117)的伸縮端固定連接有第五u板(118)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體基板激光切割固定治具,其特征在于,所述第五u板(118)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第五圓桿(119),所述第五u板(118)的側(cè)壁固定連接有第七電機(jī)(1110),所述第七電機(jī)(1110)的輸出端貫穿第五u板(118)的側(cè)壁與第五圓桿(119)的一端固定連接,所述第五圓桿(119)的桿壁固定連接有第六u板(1111),所述第六u板(1111)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第六圓桿(1112),所述第六u板(1111)的內(nèi)壁固定連接有第八電機(jī)(1113),所述第八電機(jī)(1113)的輸出端貫穿第六u板(1111)的側(cè)壁與第六圓桿(1112)的一端固定連接,所述第六圓桿(1112)的桿壁固定連接有激光切割槍(1114)。