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半導(dǎo)體裝置的制作方法

文檔序號(hào):42041734發(fā)布日期:2025-05-30 17:41閱讀:25來源:國知局

本公開涉及一種半導(dǎo)體裝置。


背景技術(shù):

1、在專利文獻(xiàn)1中,公開了具備第一半導(dǎo)體元件以及與該第一半導(dǎo)體元件導(dǎo)通的第一引線的半導(dǎo)體裝置的一例。第一半導(dǎo)體元件是mosfet等開關(guān)元件。第一引線包括導(dǎo)電接合有第一半導(dǎo)體元件的第一焊盤以及與該第一焊盤連結(jié)的第一端子。通過對(duì)第一端子施加直流電壓并且驅(qū)動(dòng)第一半導(dǎo)體元件,能夠?qū)⒅绷麟娏D(zhuǎn)換為交流電力。

2、專利文獻(xiàn)1所公開的半導(dǎo)體裝置還具備覆蓋第一焊盤以及第一半導(dǎo)體元件的封固樹脂。從第一半導(dǎo)體元件產(chǎn)生的熱被傳導(dǎo)至第一焊盤。由此,在第一焊盤產(chǎn)生相對(duì)于封固樹脂相對(duì)較大的熱應(yīng)變,因此在第一焊盤與封固樹脂的邊界產(chǎn)生熱應(yīng)力。該熱應(yīng)力傳遞到第一半導(dǎo)體元件與封固樹脂的邊界。若該熱應(yīng)力變大,則有可能產(chǎn)生第一半導(dǎo)體元件與封固樹脂的邊界處的剝離、在該第一半導(dǎo)體元件的鈍化膜產(chǎn)生龜裂。因此,期望降低該熱應(yīng)力的對(duì)策。

3、現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

4、專利文獻(xiàn)

5、專利文獻(xiàn)1:日本特開2018-14490號(hào)公報(bào)


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、發(fā)明所要解決的課題

2、本公開的一個(gè)課題在于提供一種與以往相比實(shí)施了改良的半導(dǎo)體裝置。特別是本公開鑒于上述情況,其一個(gè)課題在于提供一種能夠降低在半導(dǎo)體元件與封固樹脂的邊界產(chǎn)生的熱應(yīng)力的半導(dǎo)體裝置。

3、用于解決課題的方案

4、由本公開的第一方案提供的半導(dǎo)體裝置具備:第一芯片焊盤;第一半導(dǎo)體元件,其與所述第一芯片焊盤接合;封固樹脂,其覆蓋所述第一半導(dǎo)體元件;以及加強(qiáng)材料,其與所述第一芯片焊盤接合,所述加強(qiáng)材料的線膨脹系數(shù)小于所述封固樹脂的線膨脹系數(shù)。

5、發(fā)明效果

6、根據(jù)上述結(jié)構(gòu),能夠降低在半導(dǎo)體裝置中在半導(dǎo)體元件與封固樹脂的邊界產(chǎn)生的熱應(yīng)力。

7、本公開的其他特征以及優(yōu)點(diǎn)通過基于附圖在以下進(jìn)行的詳細(xì)的說明而變得更加明確。



技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體裝置,其特征在于,具備:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

8.根據(jù)權(quán)利要求4至7中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

9.根據(jù)權(quán)利要求4所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還具備:

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

14.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

15.根據(jù)權(quán)利要求9至14中任一項(xiàng)所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還具備:

17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的半導(dǎo)體裝置,其特征在于,還具備:


技術(shù)總結(jié)
半導(dǎo)體裝置具備第一芯片焊盤、第一半導(dǎo)體元件、封固樹脂以及加強(qiáng)材料。所述第一半導(dǎo)體元件與所述第一芯片焊盤接合。所述封固樹脂覆蓋所述第一半導(dǎo)體元件。所述加強(qiáng)材料與所述第一芯片焊盤接合。所述加強(qiáng)材料的線膨脹系數(shù)小于所述封固樹脂的線膨脹系數(shù)。作為一例,所述加強(qiáng)材料被所述封固樹脂覆蓋。另外,所述加強(qiáng)材料在第一方向上以所述第一芯片焊盤為基準(zhǔn)位于與所述第一半導(dǎo)體元件相同的一側(cè)。

技術(shù)研發(fā)人員:林口匡司
受保護(hù)的技術(shù)使用者:羅姆股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/5/29
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