本技術(shù)實(shí)施例涉及蒸鍍，尤其涉及一種蒸鍍裝置、顯示面板及其制備方法。

背景技術(shù)：

1、傳統(tǒng)顯示面板制備過程中，通常通過精細(xì)金屬掩模板（fmm）實(shí)現(xiàn)發(fā)光像素圖形化。fmm技術(shù)成熟、量產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)豐富。但是，fmm技術(shù)同時(shí)又具有精度有限、開發(fā)成本高、開發(fā)周期長(zhǎng)等問題。無精細(xì)金屬掩模技術(shù)消除了傳統(tǒng)oled（有機(jī)發(fā)光二極管）工藝對(duì)顯示屏尺寸、分辨率及其他屏體性能的限制，具有高性能、全域尺寸、敏捷交付的優(yōu)勢(shì)。

2、專利申請(qǐng)cn118251982a、cn115666161a、cn116648095a、cn117062489a、cn118678742a、cn118785761a、cn115224220a、cn118678729a、cn118660529a、cn118660589a記載了無精細(xì)金屬掩模技術(shù)的相關(guān)內(nèi)容，以供參考。

3、顯示面板的制備工藝包括蒸鍍工藝，蒸鍍工藝需要用到蒸鍍裝置，但是現(xiàn)有的蒸鍍裝置有待改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本技術(shù)實(shí)施例提供一種蒸鍍裝置、顯示面板及其制備方法，以至少部分解決上述問題。

2、根據(jù)本技術(shù)實(shí)施例的第一方面，提供了一種蒸鍍裝置。蒸鍍裝置用于蒸鍍顯示面板的母板。母板包括空白部和多個(gè)面板部，相鄰的至少兩個(gè)面板部被空白部隔開，空白部設(shè)置有至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記。蒸鍍裝置包括多個(gè)蒸鍍?cè)?、載臺(tái)和遮擋掩模板。載臺(tái)具有朝向多個(gè)蒸鍍?cè)吹某休d面。承載面用于承載母板。遮擋掩模板位于承載面和多個(gè)蒸鍍?cè)粗g，具有主體部和由主體部圍合形成的多個(gè)蒸鍍開口，主體部上設(shè)置有對(duì)應(yīng)于至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記的至少一個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記。其中，在至少一個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記與至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位后，面板部從對(duì)應(yīng)的蒸鍍開口露出、并與多個(gè)蒸鍍?cè)粗辽俨糠窒鄬?duì)。

3、在一些實(shí)施例中，至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記包括多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記，空白部包括多個(gè)第一角落區(qū)域，多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記分設(shè)于多個(gè)第一角落區(qū)域。至少一個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記包括多個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記，主體部包括對(duì)應(yīng)于多個(gè)第一角落區(qū)域的多個(gè)第二角落區(qū)域，多個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)于多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記而分設(shè)于多個(gè)第二角落區(qū)域。

4、在一些實(shí)施例中，在多個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記與多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位后，第一對(duì)位標(biāo)記的外邊緣在承載面上的正投影圍合形成的第一形狀具有第一面積，第二對(duì)位標(biāo)記的外邊緣在承載面上的正投影圍合形成的第二形狀具有第二面積，面板部在承載面上的正投影具有第三面積，其中：第一面積小于第三面積，第二面積小于第三面積，第一面積小于第二面積。

5、在一些實(shí)施例中，多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記和多個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記的數(shù)量相等，第一對(duì)位標(biāo)記具有第一圖案，第二對(duì)位標(biāo)記具有與對(duì)應(yīng)的第一對(duì)位標(biāo)記的第一圖案相配合的第一開口，在至少一個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記與至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位后，第一圖案從對(duì)應(yīng)的第一開口中露出。

6、在一些實(shí)施例中，第一開口在承載面上的正投影面積小于蒸鍍開口在承載面上的正投影面積。

7、在一些實(shí)施例中，多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記至少包括第一子對(duì)位標(biāo)記和第二子對(duì)位標(biāo)記，多個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記至少包括對(duì)應(yīng)于第一子對(duì)位標(biāo)記的第三子對(duì)位標(biāo)記和對(duì)應(yīng)于第二子對(duì)位標(biāo)記的第四子對(duì)位標(biāo)記，其中：

8、第一子對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)的第一圖案的形狀，不同于第二子對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)的第一圖案的形狀；

9、第三子對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的形狀，不同于第四子對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的形狀。

10、在一些實(shí)施例中，多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記至少包括第一子對(duì)位標(biāo)記和第二子對(duì)位標(biāo)記，多個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記至少包括對(duì)應(yīng)于第一子對(duì)位標(biāo)記的第三子對(duì)位標(biāo)記和對(duì)應(yīng)于第二子對(duì)位標(biāo)記的第四子對(duì)位標(biāo)記，其中：

11、第一子對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)的第一圖案的寬度，小于第二子對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)的第一圖案的寬度；

12、第三子對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的寬度，小于第四子對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的寬度。

13、在一些實(shí)施例中，多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記、多個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記、多個(gè)第一角落區(qū)域和多個(gè)第二角落區(qū)域的數(shù)量均為4個(gè)，第一對(duì)位標(biāo)記設(shè)置于對(duì)應(yīng)的第一角落區(qū)域，第二對(duì)位標(biāo)記設(shè)置于對(duì)應(yīng)的第二角落區(qū)域。

14、在一些實(shí)施例中，第一圖案為十字形、井字形和矩形中的至少之一，第一圖案對(duì)應(yīng)的第一開口在承載面的正投影的形狀為十字形、井字形和矩形中的至少之一。

15、在一些實(shí)施例中，多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記的數(shù)量小于多個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記的數(shù)量，多個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記至少包括一個(gè)第五子對(duì)位標(biāo)記，多個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記至少包括與第五子對(duì)位標(biāo)記對(duì)應(yīng)的多個(gè)第六子對(duì)位標(biāo)記，其中：

16、第五子對(duì)位標(biāo)記具有第二圖案，第六子對(duì)位標(biāo)記具有與第二圖案相配合的第二開口，在第五子對(duì)位標(biāo)記與第六子對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位后，第二圖案的部分從多個(gè)第二開口中露出。

17、在一些實(shí)施例中，在第五子對(duì)位標(biāo)記與第六子對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位后，第二圖案在承載面上的正投影面積，大于多個(gè)第二開口的外邊緣在承載面上的正投影圍合形成的形狀的總面積。

18、在一些實(shí)施例中，空白部設(shè)置有多個(gè)測(cè)試端子，測(cè)試端子與對(duì)應(yīng)的面板部電連接，其中：

19、在至少一個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記與至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位后，主體部將多個(gè)測(cè)試端子與多個(gè)蒸鍍?cè)锤糸_。

20、在一些實(shí)施例中，空白部設(shè)置有多個(gè)測(cè)試器件，測(cè)試器件設(shè)置于對(duì)應(yīng)的面板部的一旁，包括虛擬像素電路、虛擬隔離結(jié)構(gòu)和虛擬第一電極，虛擬隔離結(jié)構(gòu)圍合形成隔離開口，虛擬第一電極的部分從隔離開口露出、且與虛擬像素電路電連接，其中：

21、在至少一個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記與至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位后，主體部將多個(gè)測(cè)試器件與多個(gè)蒸鍍?cè)锤糸_。

22、在一些實(shí)施例中，在至少一個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記與至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位后，主體部在承載面上的正投影覆蓋多個(gè)測(cè)試端子在承載面上的正投影、且主體部在承載面上的正投影覆蓋多個(gè)測(cè)試器件在承載面上的正投影。

23、在一些實(shí)施例中，位于多個(gè)蒸鍍開口之間的主體部的寬度，小于位于多個(gè)蒸鍍開口一旁的主體部的寬度。

24、根據(jù)本技術(shù)實(shí)施例的第二方面，提供了一種制備顯示面板的方法。制備顯示面板的方法包括：將顯示面板的母板移動(dòng)至如上述的蒸鍍裝置的載臺(tái)的承載面上，其中，母板包括空白部和多個(gè)面板部，相鄰的至少兩個(gè)面板部被空白部隔開，空白部設(shè)置有至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記；

25、移動(dòng)遮擋掩模板，以將至少一個(gè)第二對(duì)位標(biāo)記與至少一個(gè)第一對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位，使得面板部從對(duì)應(yīng)的蒸鍍開口露出、并與多個(gè)蒸鍍?cè)粗械闹辽俨糠窒鄬?duì)；

26、利用從多個(gè)蒸鍍?cè)磭姵龅恼翦儾牧希詫?duì)母板的多個(gè)面板部進(jìn)行蒸鍍。

27、在一些實(shí)施例中，空白部設(shè)置有多個(gè)測(cè)試端子和多個(gè)測(cè)試器件，測(cè)試端子與對(duì)應(yīng)的面板部電連接，測(cè)試器件設(shè)置于對(duì)應(yīng)的面板部的一旁，包括虛擬像素電路、虛擬隔離結(jié)構(gòu)和虛擬第一電極，虛擬隔離結(jié)構(gòu)圍合形成隔離開口，虛擬第一電極的部分從隔離開口露出、且與虛擬像素電路電連接；

28、在對(duì)母板的多個(gè)面板部進(jìn)行蒸鍍的步驟中，主體部將多個(gè)測(cè)試端子與多個(gè)蒸鍍?cè)锤糸_、且主體部將多個(gè)測(cè)試器件與多個(gè)蒸鍍?cè)锤糸_；

29、在對(duì)母板的多個(gè)面板部進(jìn)行蒸鍍的步驟之后，方法還包括：

30、以測(cè)試端子對(duì)相應(yīng)的面板部進(jìn)行點(diǎn)燈測(cè)試；

31、以測(cè)試器件對(duì)相應(yīng)的面板部進(jìn)行陰極搭接阻抗測(cè)試。

32、在一些實(shí)施例中，在以測(cè)試器件對(duì)相應(yīng)的面板部進(jìn)行陰極搭接阻抗測(cè)試的步驟之后，方法還包括：

33、在空白部進(jìn)行切割，使蒸鍍后的多個(gè)面板部彼此分離，以得到多個(gè)顯示面板，顯示面板包括對(duì)應(yīng)的蒸鍍后的面板部；

34、其中，在使蒸鍍后的多個(gè)面板部彼此分離的過程中，測(cè)試端子與對(duì)應(yīng)的蒸鍍后的面板部分離、且測(cè)試器件與對(duì)應(yīng)的蒸鍍后的面板部分離。

35、根據(jù)本技術(shù)實(shí)施例的第三方面，提供了一種顯示面板，顯示面板包括利用如上述任一實(shí)施例的方法制備而成。

36、在一些實(shí)施例中，顯示面板包括襯底、隔離結(jié)構(gòu)和多個(gè)發(fā)光器件。隔離結(jié)構(gòu)位于襯底的一側(cè)，隔離結(jié)構(gòu)圍合形成多個(gè)隔離開口。發(fā)光器件的部分位于對(duì)應(yīng)的隔離開口內(nèi)，發(fā)光器件包括沿遠(yuǎn)離襯底的方向依次設(shè)置的第一電極、發(fā)光功能層和第二電極，第二電極與隔離結(jié)構(gòu)搭接。

37、根據(jù)本技術(shù)實(shí)施例提供的方案，在蒸鍍?cè)春洼d臺(tái)之間設(shè)置遮擋掩模板，遮擋掩模板上的第二對(duì)位標(biāo)記與母板上的第一對(duì)位標(biāo)記配合對(duì)位，可以減少蒸鍍?cè)磁c母板的位置對(duì)位偏差，使得蒸鍍材料可以準(zhǔn)確地蒸鍍?cè)谀赴宓膶?duì)應(yīng)位置，以提高母板的膜層圖案的對(duì)位精度，從而提高發(fā)光器件的對(duì)位精度，進(jìn)一步提高顯示面板的顯示效果。