本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)，具體為一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置。

背景技術(shù)：

1、硅晶圓是用硅單晶制成的圓形材料，它是半導(dǎo)體器件制造中的基礎(chǔ)材料，晶圓柱是這種材料的形態(tài)之一，它是將硅熔融后在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中形成的圓柱形硅單晶，這種圓柱形狀的硅晶體可以切割成薄片，然后用于制造各種半導(dǎo)體器件。

2、專(zhuān)利公告號(hào)為cn215510588u的專(zhuān)利涉及一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工設(shè)備，包括底座，所述底座的頂部固定連接有透明罩，該專(zhuān)利在使用時(shí)，通過(guò)防護(hù)罩的設(shè)置可以有效的對(duì)打磨過(guò)程中產(chǎn)生的粉塵進(jìn)行隔絕，避免飄散的粉塵對(duì)工作人員的身體造成危害，且通過(guò)伺服電機(jī)、第二螺紋桿、第二螺紋套、固定桿和t形桿之間的相互配合可以在透明罩外側(cè)對(duì)打磨盤(pán)的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，也避免了工作人員直接上手操作帶來(lái)的危害，通過(guò)夾板、壓板、弧形開(kāi)槽、防滑墊、第一螺紋桿和手搖輪之間的相互配合避免在打磨過(guò)程中硅晶圓柱晃動(dòng)，影響打磨效率，且通過(guò)側(cè)板和液壓缸之間的相互配合通過(guò)對(duì)兩個(gè)側(cè)板之間距離的調(diào)節(jié)，可以對(duì)不同長(zhǎng)度的硅晶圓柱進(jìn)行加工，使用效果好。

3、上述專(zhuān)利中，具有對(duì)不同長(zhǎng)度的硅晶圓柱進(jìn)行夾持的功能，通過(guò)第一螺紋桿與手搖輪之間的配合，工作人員可以輕松調(diào)節(jié)夾持裝置以適應(yīng)各種長(zhǎng)度的硅晶圓柱，不僅簡(jiǎn)化了操作過(guò)程，還滿(mǎn)足多種生產(chǎn)需求，但是在打磨過(guò)程中，平面的夾板無(wú)法完全貼合圓柱形硅晶圓柱的曲面，由于接觸面有限，導(dǎo)致硅晶圓柱受到的夾持力分布不均勻，使得硅晶圓柱在打磨過(guò)程中發(fā)生移位或振動(dòng)，從而影響打磨的精度。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，解決了上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn)：一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，包括加工板，所述加工板的頂部固定安裝有放置板，所述加工板的頂部固定貫穿有線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的移動(dòng)端頂部固定安裝有驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的輸出端固定安裝有裝載板，所述裝載板遠(yuǎn)離驅(qū)動(dòng)電機(jī)的一端固定貫穿有打磨機(jī)構(gòu)，所述加工板的頂部開(kāi)設(shè)有滑槽，還包括夾持裝置；其中，夾持裝置包括電動(dòng)推桿、搭載板、t形桿、一號(hào)彈簧、橡膠板、升降板、一號(hào)彈片、兩個(gè)銜接桿、弧形條和支撐桿，啟動(dòng)電動(dòng)推桿，電動(dòng)推桿的輸出端帶動(dòng)搭載板向放置板方向移動(dòng)，搭載板移動(dòng)帶動(dòng)t形桿向放置板方向移動(dòng)，所述電動(dòng)推桿固定安裝在加工板的頂部，所述搭載板固定安裝在電動(dòng)推桿的輸出端，所述t形桿滑動(dòng)貫穿在搭載板遠(yuǎn)離電動(dòng)推桿的一面，所述一號(hào)彈簧設(shè)置在t形桿與搭載板之間，所述橡膠板固定安裝在t形桿遠(yuǎn)離搭載板的一面，所述升降板滑動(dòng)貫穿在搭載板的頂部，所述一號(hào)彈片設(shè)置在升降板與搭載板之間，兩個(gè)所述銜接桿固定安裝在升降板遠(yuǎn)離電動(dòng)推桿的一面，所述弧形條設(shè)置在銜接桿遠(yuǎn)離升降板的兩端，所述支撐桿固定安裝在升降板的底部，所述支撐桿滑動(dòng)貫穿在搭載板的底部，所述橡膠板遠(yuǎn)離搭載板的一面開(kāi)設(shè)有波紋一，橡膠板的波紋一在移動(dòng)過(guò)程中與硅晶圓柱接觸，橡膠板受到硅晶圓柱施加的阻擋停止移動(dòng)。

3、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述t形桿靠近升降板的一端開(kāi)設(shè)有球面一，所述升降板靠近t形桿的一面開(kāi)設(shè)有斜面一，升降板的斜面一在移動(dòng)中與球面一接觸，斜面一繼續(xù)移動(dòng)受到球面一施加的阻力向下移動(dòng)。

4、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述弧形條本身具有彈性，弧形條的中間位置受到阻擋停止移動(dòng)，銜接桿移動(dòng)拉伸弧形條的兩端，弧形條受到拉伸發(fā)生形變，所述弧形條靠近橡膠板的一面開(kāi)設(shè)有防滑槽。

5、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述還包括防塵裝置和鎖定裝置；所述防塵裝置包括移動(dòng)框、玻璃罩、矩形板、二號(hào)彈片、接觸板、限位板、圓柱塊、彈性片和圓桿，升降板在移動(dòng)中與接觸板接觸，升降板移動(dòng)對(duì)接觸板施加推力，接觸板受到推力的影響向放置板方向移動(dòng)，所述移動(dòng)框滑動(dòng)安裝在滑槽的頂部，所述玻璃罩固定安裝在移動(dòng)框的內(nèi)部，所述矩形板滑動(dòng)安裝在移動(dòng)框的內(nèi)壁，所述二號(hào)彈片設(shè)置在矩形板與移動(dòng)框之間，所述接觸板固定安裝在矩形板的底部，所述限位板固定安裝在移動(dòng)框的外壁，所述圓柱塊固定安裝在矩形板的表面，所述彈性片固定安裝在移動(dòng)框的內(nèi)壁，矩形板移動(dòng)的同時(shí)帶動(dòng)圓柱塊向彈性片方向移動(dòng)，圓柱塊在移動(dòng)中與彈性片接觸，所述圓桿固定安裝在移動(dòng)框的內(nèi)壁。

6、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述彈性片以矩形板為對(duì)稱(chēng)軸等距分布在移動(dòng)框的內(nèi)壁，圓柱塊繼續(xù)移動(dòng)擠壓彈性片，彈性片受到擠壓發(fā)生形變，形變中的彈性片與圓桿接觸的面分離，所述限位板靠近放置板的一面開(kāi)設(shè)有斜面二，所述限位板遠(yuǎn)離移動(dòng)框的一面開(kāi)設(shè)有圓孔。

7、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述彈性片遠(yuǎn)離圓桿的一面開(kāi)設(shè)有弧面一，圓柱塊復(fù)位移動(dòng)時(shí)與彈性片的弧面一接觸，圓柱塊繼續(xù)移動(dòng)擠壓弧面一，彈性片受到擠壓發(fā)生形變，所述彈性片與圓桿的圓周面接觸。

8、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述鎖定裝置包括固定板、移動(dòng)桿、二號(hào)彈簧、活動(dòng)板、握桿、對(duì)接桿、銜接座、轉(zhuǎn)動(dòng)板和阻擋板，對(duì)接桿移動(dòng)帶動(dòng)活動(dòng)板向阻擋板方向移動(dòng)，活動(dòng)板移動(dòng)帶動(dòng)移動(dòng)桿向阻擋板方向移動(dòng)，所述固定板固定安裝在加工板的表面，所述移動(dòng)桿滑動(dòng)貫穿在固定板的內(nèi)部，所述二號(hào)彈簧設(shè)置在移動(dòng)桿與固定板之間，所述活動(dòng)板固定安裝在移動(dòng)桿靠近固定板的一面，所述握桿固定安裝在活動(dòng)板遠(yuǎn)離加工板的一面，所述對(duì)接桿固定安裝在活動(dòng)板遠(yuǎn)離握桿的一面，所述銜接座固定安裝在固定板的頂部，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在銜接座的內(nèi)部，所述阻擋板固定安裝在固定板的頂部，所述對(duì)接桿遠(yuǎn)離活動(dòng)板的一端開(kāi)設(shè)有球面二，限位板的斜面二在移動(dòng)中與球面二接觸，斜面二繼續(xù)移動(dòng)對(duì)球面二施加推力，對(duì)接桿受到推力的影響向活動(dòng)板方向移動(dòng)。

9、根據(jù)上述技術(shù)方案，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板與銜接座之間設(shè)置有渦卷彈簧，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板遠(yuǎn)離握桿的一面開(kāi)設(shè)有半圓槽，握桿的圓周面在移動(dòng)中與半圓槽接觸，使得轉(zhuǎn)動(dòng)板對(duì)握桿的移動(dòng)施加限位，同時(shí)對(duì)接桿無(wú)法與移動(dòng)中的限位板接觸，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板與阻擋板接觸。

10、本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置。具備以下有益效果：

11、（1）該半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，t形桿在拉力的作用下對(duì)橡膠板施加推力，使得波紋一與硅晶圓柱緊密接觸，通過(guò)一號(hào)彈簧形變過(guò)程中施加的拉力，確保波紋一與硅晶圓柱緊密接觸，有助于提高夾持的穩(wěn)定性，弧形條的兩端向下彎曲，弧形條的防滑槽在形變過(guò)程中與硅晶圓柱的曲面緊密貼合，通過(guò)加工板施加的支撐力提高打磨的穩(wěn)定性，再用弧形條對(duì)硅晶圓柱施加壓力，確保打磨過(guò)程中硅晶圓柱不會(huì)發(fā)生偏轉(zhuǎn)影響打磨效果。

12、（2）該半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，二號(hào)彈片在自身彈性的作用下對(duì)移動(dòng)框施加反作用力，兩側(cè)的移動(dòng)框在反作用力的影響下緊密接觸，通過(guò)二號(hào)彈片施加的反作用力，確保玻璃罩能夠有效阻止打磨過(guò)程中產(chǎn)生的粉末飛散到工作區(qū)域，彈性片在自身彈性的作用下進(jìn)行復(fù)原，彈性片在復(fù)原過(guò)程中與圓桿碰撞產(chǎn)生振動(dòng)，通過(guò)彈性片與圓桿間歇碰撞產(chǎn)生多次振動(dòng)，再將振動(dòng)傳遞給移動(dòng)框，避免滑槽內(nèi)堆積的粉塵影響移動(dòng)框移動(dòng)的流暢性。

13、（3）該半導(dǎo)體生產(chǎn)用硅晶圓柱加工磨削裝置，對(duì)接桿穿過(guò)圓孔，使得對(duì)接桿對(duì)移動(dòng)框進(jìn)行限位，通過(guò)對(duì)接桿穿過(guò)圓孔對(duì)移動(dòng)框進(jìn)行限位，使工作人員在規(guī)范操作后才能打開(kāi)玻璃罩，有助于提高操作的安全性，轉(zhuǎn)動(dòng)板對(duì)握桿的移動(dòng)施加限位，同時(shí)對(duì)接桿無(wú)法與限位板接觸，通過(guò)主動(dòng)限位活動(dòng)板，方便工作人員根據(jù)實(shí)際情況旋轉(zhuǎn)使用對(duì)接桿，有助于提高對(duì)接桿的實(shí)用性。