本發(fā)明涉及三軸運動平臺，具體為一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺。
背景技術(shù)：
1、三軸運動平臺通常指的是具有在三個獨立軸向上移動能力的機械平臺，這些軸通常是x軸、y軸和z軸，它們可以沿著三個方向移動，從而在三維空間內(nèi)實現(xiàn)精確定位和運動控制，在精密儀器、光學(xué)檢測、微納加工等領(lǐng)域，三軸運動平臺通常需要集成高精度成像系統(tǒng)，以實現(xiàn)對樣品的精確定位與實時觀測。
2、現(xiàn)有技術(shù)中，三軸運動平臺與成像平臺通常獨立安裝在外部支架上，導(dǎo)致運動平臺與成像平臺在安裝時，引入了多個安裝基準面，易因安裝基準面過多造成較大的安裝公差，進而使得在使用時，不利于運動平臺的校準，降低使用效率；并且現(xiàn)有載物臺多通過螺栓固定或手動鎖緊機構(gòu)安裝，不利于快速拆裝載物臺，重復(fù)定位精度低，重新安裝后需要人工調(diào)平，進一步降低使用效率；基于此，本申請?zhí)岢鲆环N帶成像校準功能的xyz精密運動平臺。
技術(shù)實現(xiàn)思路
1、本發(fā)明提供了一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，解決了上述背景技術(shù)中提出的運動平臺與成像平臺在安裝時易引入多個安裝基準面，影響運動平臺的校準效率；載物臺通過螺栓固定或手動鎖緊機構(gòu)安裝，不利于快速拆裝，重復(fù)定位精度低，降低使用效率的問題。
2、本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，包括安裝座，所述安裝座頂部一側(cè)設(shè)置有運動平臺，所述安裝座頂部另一側(cè)設(shè)置有成像平臺，所述運動平臺采用模塊分層布局，包括與安裝座頂部連接的x平臺，所述x平臺與安裝座通過第一傳動結(jié)構(gòu)連接，且所述第一傳動結(jié)構(gòu)設(shè)置在x平臺的中心位置；所述x平臺的中部設(shè)置有y平臺，所述y平臺通過第二傳動結(jié)構(gòu)實現(xiàn)與x軸方向垂直的y軸方向運動，所述第二傳動結(jié)構(gòu)設(shè)置在y平臺的中心位置；所述y平臺的中部設(shè)置有z平臺，所述z平臺通過第三傳動結(jié)構(gòu)驅(qū)動其沿z軸垂直升降，所述z平臺上設(shè)置有載物臺，所述載物臺為多層結(jié)構(gòu)設(shè)計，包括與z平臺連接的底層支架、與底層支架連接的調(diào)平支架和與調(diào)平支架可拆卸連接的可更換支架。
3、優(yōu)選的，所述成像平臺包括與安裝座連接的光學(xué)采集模塊，所述光學(xué)采集模塊的頂端設(shè)置有照明系統(tǒng)，照明系統(tǒng)包括大于等于一組的led組件，所述光學(xué)采集模塊頂部的中部安裝有采集鏡頭，所述采集鏡頭位于led組件之間，所述光學(xué)采集模塊的底端設(shè)置有相機靶面。
4、優(yōu)選的，所述載物臺上每個位置的物體成像面與光學(xué)采集模塊處于相互平行的狀態(tài)，并位于相機靶面的焦平面上。
5、優(yōu)選的，所述成像平臺與運動平臺安裝時，使用同一主基準安裝面，所述主基準安裝面為安裝座的頂部。
6、優(yōu)選的，所述第一傳動結(jié)構(gòu)和第二傳動結(jié)構(gòu)兩者的運動排線均采用fpc仿拖鏈設(shè)計和導(dǎo)向壓接設(shè)計。
7、優(yōu)選的，所述調(diào)平支架通過調(diào)平細牙頂絲調(diào)平后，利用緊固螺釘與底層支架實現(xiàn)固定，所述調(diào)平支架的四個邊角均設(shè)置有調(diào)平細牙頂絲和緊固螺釘。
8、優(yōu)選的，所述可更換支架與調(diào)平支架采用磁吸方式實現(xiàn)可拆卸連接，所述可更換支架的底部和調(diào)平支架的頂部均設(shè)置有磁鐵片。
9、優(yōu)選的，所述x平臺與安裝座頂部的中部連接，所述x平臺靠近成像平臺的一側(cè)設(shè)置有開孔，所述載物臺位于開孔的上方，所述成像平臺位于開孔的下方。
10、優(yōu)選的，所述第三傳動結(jié)構(gòu)位于y平臺的中部，所述第三傳動結(jié)構(gòu)位于第二傳動結(jié)構(gòu)的下方。
11、優(yōu)選的，所述y平臺位于開孔遠離第一傳動結(jié)構(gòu)的一側(cè)時，所述載物臺（7）位于x平臺的外側(cè)。
12、與現(xiàn)有技術(shù)對比，本發(fā)明具備以下有益效果：
13、1、該帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，通過把傳動結(jié)構(gòu)設(shè)置在平臺的中心位置，實現(xiàn)對稱發(fā)力，不偏心，保證載物臺上每個位置的物體成像面與光學(xué)采集模塊平行，位于相機靶面的焦平面上，確保成像圖像清晰不虛焦。
14、2、該帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，成像平臺與運動平臺安裝使用同一主基準安裝面，減少因為安裝基準面過多造成的安裝公差，便于平臺校準；第一傳動結(jié)構(gòu)和第二傳動結(jié)構(gòu)兩者的運動排線均采用fpc仿拖鏈設(shè)計，預(yù)留足夠的線纜折彎尺寸以及導(dǎo)向壓接，保證長時間使用線纜不會出現(xiàn)問題。
15、3、該帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，載物臺具備調(diào)平校準功能，進一步保證成像面與成像單元平行，不會使圖像邊緣虛焦，且可更換載物支架，提高適應(yīng)性，并具有定位功能，保障載物臺的重復(fù)定位精度，提高使用便利性。
1.一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，包括安裝座（18），其特征在于：所述安裝座（18）頂部一側(cè)設(shè)置有運動平臺，所述安裝座（18）頂部另一側(cè)設(shè)置有成像平臺，所述運動平臺采用模塊分層布局，運動平臺包括與安裝座（18）頂部連接的x平臺（1），所述x平臺（1）與安裝座（18）通過第一傳動結(jié)構(gòu)（2）連接，且所述第一傳動結(jié)構(gòu)（2）設(shè)置在x平臺（1）的中心位置；所述x平臺（1）的中部設(shè)置有y平臺（3），所述y平臺（3）通過第二傳動結(jié)構(gòu)（4）實現(xiàn)與x軸方向垂直的y軸方向運動，所述第二傳動結(jié)構(gòu)（4）設(shè)置在y平臺（3）的中心位置；所述y平臺（3）的中部設(shè)置有z平臺（5），所述z平臺（5）通過第三傳動結(jié)構(gòu)（6）驅(qū)動其沿z軸垂直升降，所述z平臺（5）上設(shè)置有載物臺（7），所述載物臺（7）為多層結(jié)構(gòu)設(shè)計，包括與z平臺（5）連接的底層支架（8）、與底層支架（8）連接的調(diào)平支架（9）和與調(diào)平支架（9）可拆卸連接的可更換支架（10）。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，其特征在于：所述成像平臺包括與安裝座（18）連接的光學(xué)采集模塊（11），所述光學(xué)采集模塊（11）的頂端設(shè)置有照明系統(tǒng)，照明系統(tǒng)包括大于等于一組的led組件（12），所述光學(xué)采集模塊（11）頂部的中部安裝有采集鏡頭（13），所述采集鏡頭（13）位于led組件（12）之間，所述光學(xué)采集模塊（11）的底端設(shè)置有相機靶面（14）。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，其特征在于：所述載物臺（7）上每個位置的物體成像面與光學(xué)采集模塊（11）處于相互平行的狀態(tài)，并位于相機靶面（14）的焦平面上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，其特征在于：所述成像平臺與運動平臺安裝時，使用同一主基準安裝面，所述主基準安裝面為安裝座（18）的頂部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，其特征在于：所述第一傳動結(jié)構(gòu)（2）和第二傳動結(jié)構(gòu)（4）兩者的運動排線均采用fpc仿拖鏈設(shè)計和導(dǎo)向壓接設(shè)計。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，其特征在于：所述調(diào)平支架（9）通過調(diào)平細牙頂絲（16）調(diào)平后，利用緊固螺釘（15）與底層支架（8）實現(xiàn)固定，所述調(diào)平支架（9）的四個邊角均設(shè)置有調(diào)平細牙頂絲（16）和緊固螺釘（15）。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，其特征在于：所述可更換支架（10）與調(diào)平支架（9）采用磁吸方式實現(xiàn)可拆卸連接，所述可更換支架（10）的底部和調(diào)平支架（9）的頂部均設(shè)置有磁鐵片（17）。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，其特征在于：所述x平臺（1）與安裝座（18）頂部的中部連接，所述x平臺（1）靠近成像平臺的一側(cè)設(shè)置有開孔（19），所述載物臺（7）位于開孔（19）的上方，所述成像平臺位于開孔（19）的下方。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，其特征在于：所述第三傳動結(jié)構(gòu)（6）位于y平臺（3）的中部，所述第三傳動結(jié)構(gòu)（6）位于第二傳動結(jié)構(gòu)（4）的下方。
10.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種帶成像校準功能的xyz精密運動平臺，其特征在于：所述y平臺（3）位于開孔（19）遠離第一傳動結(jié)構(gòu)（2）的一側(cè)時，所述載物臺（7）位于x平臺（1）的外側(cè)。