X射線波導(dǎo)和X射線波導(dǎo)系統(tǒng)本發(fā)明涉及X射線波導(dǎo)及包含X射線源和X射線波導(dǎo)的X射線波導(dǎo)系統(tǒng)。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的X射線波導(dǎo)可被用在例如用于諸如X射線分析技術(shù)、X射線成像技術(shù)和X射線曝光技術(shù)的X射線光學(xué)系統(tǒng)中,并且可進(jìn)一步被用作在X射線光學(xué)系統(tǒng)中使用的X射線光學(xué)部件。當(dāng)處理具有幾十nm...